潔凈室需要將一定范圍內空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除,并將無塵室內溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內,通常根據(jù)實驗室空氣中的顆粒數(shù)量,對潔凈室進行分類。
潔凈室的分類根據(jù)國家不同有不同的等級規(guī)定,目前世界各國雖有自訂規(guī)格,但普遍還是采用美國聯(lián)邦標準【Federal Standard (FS) 209E, 1992】。
其中需要注意的,A、B、C、D級別的劃分是參照ISO標準(歐盟采納的方式),其本身包含了靜態(tài)要求和動態(tài)要求。舊版GMP采納的是美國的潔凈間劃分方式,舊版的潔凈間劃分僅有靜態(tài)的概念,不要求動態(tài)。
在美國的聯(lián)邦標準209(A至D)中,在一立方英尺的空氣中測量等于或大于0.5mm的顆粒數(shù),并且該計數(shù)用于對潔凈室進行分類。該標準的最新209E版本也接受該度量標準。聯(lián)邦標準209E在國內使用。較新的標準是國際標準組織的TC 209。
這兩個標準都根據(jù)實驗室空氣中的顆粒數(shù)量對潔凈室進行了分類。潔凈室分類標準FS 209E和ISO 14644-1要求進行特定的顆粒計數(shù)測量和計算,以對潔凈室或潔凈區(qū)域的清潔度水平進行分類。
生物潔凈室潔凈度等級
潔凈度等級表
潔凈室按空氣清潔程度分類,如果無塵室的等級只用塵粒數(shù)目來敘述,則可假設塵粒的尺寸為0.5μm,例如,1級、10級、例如100級無塵室最大塵埃粒子數(shù)目分別小于或等于1顆、10顆、100顆。
如果塵粒尺寸不是0.5μm,無塵室等級應以在一特定塵粒尺寸的級數(shù)來表示,分別分為1級、10級、100級、1000級、10000級、100000級,數(shù)值越小,凈化級別就越高。潔凈度越高造價就越高。
各行業(yè)對潔凈度等級的要求
各行業(yè)對潔凈室的凈化要求也有所不同:
1級:主要用于制造集成電路的微電子工業(yè),對集成電路的精確要求為亞微米。
10級:主要用于帶寬小于2微米的半導體工業(yè)。
100級:可用于醫(yī)藥工業(yè)的無菌制造工藝等。
1000級:主要用于高質量光學產(chǎn)品的生產(chǎn),還用于測試,裝配飛機蛇螺儀,裝配高質微型軸承等。
10000級:主要用于液壓設備或氣壓設備的裝配,某些情況下也用于食品飲料工業(yè),此外,萬級潔凈室在醫(yī)工業(yè)中也很常用。
100000級:十萬級潔凈室用于很多的工業(yè)部門,比如光學產(chǎn)品的制造,用于較小的元器件制造大型的電子系統(tǒng),液壓或氣壓系統(tǒng)的制造,食品飲料的生產(chǎn),醫(yī)、藥工業(yè)也常常使用。